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Teledyne Hastings Instruments

Teledyne Hastings Instruments HFC-203 マスフローコントローラー

Teledyne Hastings Instruments HFC-203 マスフローコントローラー

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GearProduct description & specifications

ブランド:Teledyne Hastings Instruments

モデル:HFC-203

タイプ:マスフローコントローラー

技術仕様:

出力機能:0...5 VDCアナログ・マスフロー出力信号 

電気設計:比例制御バルブ内蔵サーマル式マスフロー測定

標準温度・圧力:0 C & 700 Torr(1 bar)

最大動作圧力:34 bar

電圧:±14...16 VDC 

温度:校正動作温度23.2 °C 

定格電流:±15 VDC時、最大185 mA 

機能:上流側の圧力スパイクに左右されず、熱伝達熱力学に基づいてガス流路の流量を高精度に監視・制御

最大消費電力:< 4.2 W 

ガス選択:空気用に校正(A/G:100 SLPM/AIR、基準ガス係数)

精度:フルスケールの±1.0%

再現性:フルスケールの±0.05%

流量範囲:0...100 SLPM(標準リットル毎分)

接続タイプ:15ピンサブミニチュアDコネクター(±15 VDC仕様用)

ポート:3/4インチホースコネクター

ハウジング材質:ステンレス鋼、ニッケル200、FKM/Vitonエラストマーシール、Kalrezバルブシート

取り付けタイプ:インライン配管設置(垂直面または水平面)

保護等級:IP 40

重量:2.5 kg 

寸法:220 x 50 x 16 mm

原産国:米国

HSコード:9026.10.20

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