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Teledyne Hastings Instruments

Teledyne Hastings Instruments HFM-200 マスフローコントローラー

Teledyne Hastings Instruments HFM-200 マスフローコントローラー

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GearProduct description & specifications

ブランド:Teledyne Hastings Instruments

モデル: HFM-200(大容量/LFEシリーズ)

タイプ:マスフローコントローラー(大流量構成)

構成サフィックス:R/G:1500 SLPM/AIR | 校正ガス/温度:AIR/22.8 C 

技術仕様:

出力機能: 0...5 VDCのリニアアナログ質量流量出力信号 

電気設計:内蔵された大容量ラミナーフローエレメント(LFE)と連動する、バルブ非搭載の熱伝達式マスフローセンサー

電圧: ±(14...16) VDC(デュアルバイポーラ電源) 

温度:22.8 °C(校正時の動作温度) 

最大使用圧力:34.5 bar

-定格電流:最大 ±15 VDCで30 mA

STP:0 C & 760 Torr(1.01 bar)

短絡保護:あり

過負荷保護:あり

逆極性保護:あり

機能:圧力変動を回避し、下流側ヒートシンクのプロファイリングによって気体の総体積流量を大容量で監視し、高精度に検証

最大消費電力: < 1 W

媒体選択:空気用に校正(R/G:1500 SLPM/AIR基準)

精度:フルスケールの±1.0%

再現性:フルスケールの±0.05%

流量容量範囲:0...1500 SLPM(標準リットル毎分)

接続タイプ: 15ピン小型Dコネクター(±15 VDC仕様用)、Swagelokエルボ付き流体ポート

ハウジング材質: 接液部:316Lステンレス鋼、シール:Vitonエラストマー製Oリング 

取り付けタイプ:インライン配管設置 

保護等級:IP 40

重量:850 g

寸法:140 x 30 x 135 mm

原産国:米国

HSコード:9026.10.20

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